マグネトロンスパッタ磁石の磁場分布を調べたい

マグネトロンスパッタ用マグネットの磁場計算にも応用が可能です。ヨークの影響は、ヨーク内の磁場が磁気飽和していなければ、磁石の厚さを２倍にすることにより近似計算ができます。ここでは単純な同心円形状のマグネトロンスパッタの空間磁場について計算しています。

計算例

直径５インチの単純な同心円形状のマグネトロンスッパタ磁石を想定して、マグネットから25㎜、及び50㎜の磁場分布を計算します。以下に計算モデルと計算結果を示します。磁石厚さは30㎜として、ヨークの影響は磁石厚さを２倍として近似し、計算します。

計算結果のグラフ化

計算結果は、磁界分布データを選び保存すると2次元の表形式で、csvファイルで保存されます。これをX軸とBz、X軸とBxを選びエクセルの散布図グラフを用いグラフ化すると以下のようなグラフを作成することができます。